眾所周知，熱退火在工業(yè)上制造機(jī)械，具體一定的重要性，許多大廠都很在意安全生產(chǎn)這塊的，畢竟是一個(gè)高溫情況下生產(chǎn)產(chǎn)品的區(qū)域，今天我們就來(lái)說(shuō)說(shuō)這方面的相關(guān)事宜。
熱退火工藝提供了一種用于加工基材的方法，所述方法包括：提供具有表面的基材;提供共聚物組合物，所述共聚物組合物包括：聚(苯乙烯)-b-聚(硅氧烷)嵌段共聚物組分,其中聚(苯乙烯 )-b-聚(硅氧烷)嵌段共聚物組分的數(shù)均分子量是5到1,000kg / mol;抗氧化劑，其中共聚物組合物包含>2wt%的抗氧化劑，基于嵌段共聚物組分的重量 ;施加上述共聚物組合物的薄膜到基材表面;任選地，烘焙上述薄膜;通過(guò)在240到35C℃ 和包含> 20wt%02的氣體氣氛下加熱薄膜1秒鐘到4小時(shí)來(lái)退火上述薄膜;處理上述退火薄膜以從退火薄膜中除去聚(苯乙烯)嵌段和將退火薄膜中的聚(硅氧烷)嵌段轉(zhuǎn)換成SiOx。
作為一種新興的光刻技術(shù)越來(lái)越受到人們的關(guān)注
在定向自組裝中的應(yīng)用：近兩年來(lái)，嵌段共聚物定向自組裝( DSA， Directed Self-Assembly of BlockCopolymer)光刻技術(shù)作為一種新興的光刻技術(shù)越來(lái)越受到人們的關(guān)注。其原理與之前所敘述的幾種技術(shù)有很大不同，是利用嵌段共聚物在熱退火或溶劑退火等條件下分相形成納米結(jié)構(gòu)，以形成的納米結(jié)構(gòu)作為模板對(duì)襯底進(jìn)行刻蝕實(shí)現(xiàn)圖形化的一種技術(shù)。
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